下载半导体装置的技术资料

文档序号:41427404

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提供能够将埋入电极稳定地与发射极电位连接的半导体装置。本发明涉及的半导体装置具有:半导体基板,具有n型第1半导体层、其上的n型第2半导体层、其上的p型第3半导体层、第3半导体层的上层部的n型第4半导体层;多个第1沟槽栅极,其贯穿第4~第2半...
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