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本公开涉及一种校准光学系统的方法，所述光学系统包括：物镜布置，用于接收来自对象的至少一部分的反射光，以及成像透镜，用于投射从物镜布置接收的光以在目标平面上形成对象的至少部分的图像，所述方法包括：基于要在目标平面上形成的对象的至少部分的图像的...
该专利属于应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司授权不得商用。

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