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解析装置、解析方法、加工系统以及程序制造方法及图纸
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文档序号:41426421
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本公开所涉及的解析装置对加工工具的状态进行解析。解析装置具备:获取部,从安装于加工工具的至少一个传感器获取测定结果;运算部,对由获取部获取的测定结果进行数据加工;图像处理部,使将由获取部获取的测定结果按时间序列显示的第一图像、和对由运算部进...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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