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本发明提供一种刻蚀设备的检测方法及晶圆的刻蚀方法，通过在所述刻蚀设备进行漏率测试和底压测试之后，增加暖机、刻蚀速率测试和颗粒物含量测试并判断所述刻蚀速率和颗粒物含量是否符合预设标准；若所述刻蚀速率和颗粒物含量符合预设标准，则恢复刻蚀工艺。暖...
该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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