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本技术涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种高均匀性化学气相沉积碳化硅涂层载盘，包括具有碳化硅涂层的载盘本体，所述载盘本体底部外壁螺接有螺纹套，且螺纹套底部外壁固定连接有卡弧，卡弧底部外壁设置有四个支撑机构，支撑机构包括支撑脚，且支撑脚顶部外...
该专利属于江苏三责新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏三责新材料科技有限公司授权不得商用。

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