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描述了一种用于校正带电粒子束装置中的带电粒子束的像差的校正器。校正器包括被配置为在垂直于束轴的平面中的多个接线。接线形成两个或更多个开口，用于穿过两个或更多个开口传递带电粒子束。多个接线至少包括第一接线和第二接线，所述第一接线具有被配置为向...
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