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一种外延结构，包含一基板、一第一缓冲层、一第二缓冲层及一通道层，所述第一缓冲层位于所述基板上方，所述第一缓冲层包含一第一部分，所述第一部分包含三元或三元以上的一氮化物且所述氮化物的铝原子浓度小于等于25at％，且所述第一部分具有元素掺杂，掺...
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