下载一种半导体器件的制备方法的技术资料

文档序号:41418477

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本发明提供了一种半导体器件的制备方法,包括:提供衬底,衬底上形成有磁性隧道结,磁性隧道结上表面和侧壁、衬底表面沉积有介质保护膜;蚀刻掉介质保护膜中位于磁性隧道结上表面及衬底表面的部分,保留在磁性隧道结侧壁的剩余介质保护膜形成磁性隧道结的侧墙...
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