温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请实施例提供一种横向电场激励谐振器及其制造方法。该横向电场激励谐振器包括：衬底105；金属支撑层，其设置于所述衬底的表面，所述金属支撑层具有凹陷部，所述凹陷部在纵向上贯穿所述金属支撑层；单晶压电薄膜101，其被支承于所述金属支撑层，并覆...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。