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本申请实施例提供一种横向电场激励谐振器及其制造方法。该横向电场激励谐振器包括：衬底(105)；介质层(104)，其通过金属键合层(104M，105M)被设置于衬底的表面，介质层的表面具有凹陷部；单晶压电薄膜(101)，其被支承于凹陷部的外周...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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