温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种进气喷嘴装置以及等离子体刻蚀机，用于向等离子体刻蚀机的反应腔室提供工艺气体，所述进气喷嘴装置包括喷气头和输气部，所述喷气头包括底部和围绕所述底部的筒部，所述喷气头设置有贯通所述底部的中心喷气孔和侧向贯通所述筒部的侧向喷气孔；所...
该专利属于江苏鲁汶仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鲁汶仪器股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。