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本申请公开一种进气喷嘴装置、等离子体刻蚀机以及进气喷嘴的控制方法，所述进气喷嘴装置包括进气喷嘴和喷嘴座，所述进气喷嘴的至少部分位于所述容纳腔内，且所述进气喷嘴相对所述喷嘴座可摆动；还包括调节部，所述调节部调节所述进气喷嘴和所述喷嘴座的相对位...
该专利属于江苏鲁汶仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鲁汶仪器股份有限公司授权不得商用。

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