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本发明提供一种在真空镀膜中进行水蒸气掺杂的方法和水蒸气掺杂装置，本发明的方法能够满足真空镀膜中微小水蒸气流量的需求，利于真空镀膜室的水分压稳定，有助于改善需要掺杂水蒸气的真空镀膜工艺的稳定性。所述方法包括：在第一真空腔室内放置水源，并从所述...
该专利属于国家能源投资集团有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过国家能源投资集团有限责任公司授权不得商用。

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