温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

公开了一种利用静电引力以吸附的方式固定基板的静电吸盘，以及该静电吸盘的制备方法。所述静电吸盘包括被分成多个电极部分并且连接到直流电源的电极层，以使所述多个电极部分具有相同的极性。因此，静电引力可以被快速产生和释放，并且可以避免一些位置的电压...
该专利属于ＩＰＳ株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过ＩＰＳ株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。