下载具有垂直晶体管的半导体装置及其制造方法的技术资料

文档序号:4141411

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种具有垂直晶体管的半导体装置,其包括:多个作用柱;围绕该作用柱的侧壁的多个垂直栅极;具有表面高于该作用柱的露出侧壁且将相邻的垂直栅极连接在一起的多条字线;及在垂直栅极上方围绕该字线的该露出侧壁的多个间隔物。...
该专利属于海力士半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过海力士半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。