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本技术公开了一种LPCVD软着陆双层炉管机构，其技术方案要点是，包括炉体，炉体一侧设有炉口，另一侧设有炉尾，所述炉体内还设有石英管，所述石英管内设有金属管，所述炉体靠近炉口一端通过第一法兰组分别与石英管及金属管连接，所述炉体靠近炉尾一端还通...
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