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本发明涉及一种布置在CVD反应器中的承载环(20)，所述承载环是用于支承布置在基座之上的基板(10)的支承装置的一部分并且由基座供应热量，其中重要的是，热量通过承载环(20)的环形接片(33)从基座传递至承载环(20)的径向外部区域(21)...
该专利属于艾克斯特朗欧洲公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾克斯特朗欧洲公司授权不得商用。

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