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本申请涉及一种用于深孔工件的镀膜设备，用以向开设有第一通孔的待镀膜工件镀膜，包括真空腔体及依次设于真空腔体内的磁控阴极靶、离子加速汇聚器及工件转架，磁控阴极靶与高功率脉冲电源相连，用于生成第一金属阳离子；工件转架可绕自身轴线旋转，用于固定待...
该专利属于湖北通格微电路科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北通格微电路科技有限公司授权不得商用。

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