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本发明公开了一种遮罩组件以及镀膜机台，其中的镀膜机台用以在基材上的镀膜区域上进行镀膜。此镀膜机台包括镀膜腔室、阴极载台、阳极载台以及遮罩组件（ｍａｓｋ　ａｓｓｅｍｂｌｙ）。镀膜腔室具有腔室开口。阴极载台配置于腔室开口以盛放靶材，而阳极载台配...
该专利属于友达光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过友达光电股份有限公司授权不得商用。

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