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用于单晶提拉装置的坩埚或加热器的集尘冷却装置及集尘冷却方法制造方法及图纸
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下载用于单晶提拉装置的坩埚或加热器的集尘冷却装置及集尘冷却方法的技术资料
文档序号:41399412
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提供一种集尘冷却装置,其能够在单晶提拉装置中的坩埚或加热器的冷却时有效地回收粉尘,且有效地促进冷却。本发明的集尘冷却装置(100)具有罩(10)、导管(20)、集尘抽吸机(30)。罩(10)从上方覆盖坩埚(116)或加热器(124),下方呈...
该专利属于胜高股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过胜高股份有限公司授权不得商用。
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