温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种热稳定电镀铜层及其制备方法与应用，所述热稳定电镀铜层中包括纳米铜晶粒，所述热稳定电镀铜层在热处理前后，纳米铜晶粒的尺寸变化≤1μm，热稳定电镀铜层的硬度衰减≤25％。本发明所述热稳定电镀铜层在热处理前后，组成晶粒无明显粗大，...
该专利属于中国科学院深圳先进技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院深圳先进技术研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。