下载一种基于剪切压电片的大行程压电定位平台及其驱动方法的技术资料

文档序号:41392107

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本发明涉及一种基于剪切压电片的大行程压电定位平台及其驱动方法;定位平台主要由摩擦机构、工字型预紧柔性铰链、交叉滚子导轨a、交叉滚子导轨b、基座、载物平台、信号发生器和功率放大器组成;摩擦机构和工字型预紧柔性铰链连接;工字型预紧柔性铰链安装于...
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