【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于压电驱动与精密定位，涉及一种基于剪切压电片的大行程压电定位平台及其驱动方法。
技术介绍
1、随着现代科学技术和工程技术的发展，对高精度定位平台的需求越来越大。压电驱动定位平台作为一种常用的高精度定位平台装置，在精密加工和制造中具有广泛的应用前景。定位系统在各种精密机械设备中起着关键性的作用。大行程纳米定位平台在现代科学技术中起到越来越重要作用，特别是近几年一直是精密工程领域的研究热点之一。
2、高精度定位平台在高精尖工业生产和科学研究中都起到至关重要的作用，深刻影响着例如扫描电子显微镜、微机电系统、精密光学、生物医学、集成电路等诸多行业的发展。然而，传统的定位平台在实际应用中仍然存在一些问题，如定位精度低，运动缓慢，稳定性差，结构复杂等问题，限制了其在精密制造加工领域的性能。
3、传统定位平台在实现大行程运动和高精度定位方面存在困难。传统的压电定位平台通常采用柔性铰链变形的方式来驱动位移平台的，可以实现较高定位精度及较大的负载能力，然而由于压电叠堆的压电效应，存在无法避免的位移回退现象，进而导致定位...
【技术保护点】
1.一种基于剪切压电片的大行程压电定位平台，其特征在于：主要由摩擦机构(1)、工字型预紧柔性铰链(2)、交叉滚子导轨a(3)、交叉滚子导轨b(4)、基座(5)、载物平台(6)、信号发生器(7)和功率放大器(8)组成；所述摩擦机构(1)和工字型预紧柔性铰链(2)连接；所述工字型预紧柔性铰链(2)安装于基座(5)上；所述交叉滚子导轨a(3)与基座(5)连接；所述交叉滚子导轨b(4)与载物平台(6)连接，摩擦机构(1)和载物平台(6)相互挤压接触；所述摩擦机构(1)通过正极导线和负极导线与功率放大器(8)相连接；所述信号发生器(7)和功率放大器(8)通过导线连接。
<...【技术特征摘要】
1.一种基于剪切压电片的大行程压电定位平台，其特征在于：主要由摩擦机构(1)、工字型预紧柔性铰链(2)、交叉滚子导轨a(3)、交叉滚子导轨b(4)、基座(5)、载物平台(6)、信号发生器(7)和功率放大器(8)组成；所述摩擦机构(1)和工字型预紧柔性铰链(2)连接；所述工字型预紧柔性铰链(2)安装于基座(5)上；所述交叉滚子导轨a(3)与基座(5)连接；所述交叉滚子导轨b(4)与载物平台(6)连接，摩擦机构(1)和载物平台(6)相互挤压接触；所述摩擦机构(1)通过正极导线和负极导线与功率放大器(8)相连接；所述信号发生器(7)和功率放大器(8)通过导线连接。
2.根据权利要求1所述的一种基于剪切压电片的大行程压电定位平台及驱动方法，其特征在于：所述摩擦机构(1)由剪切压电陶瓷片(9)，连接垫片(12)和摩擦垫片(13)组成；所述连接垫片(12)和剪切压电陶瓷片(9)连接，摩擦垫片(13)和剪切压电陶瓷片(9)连接，所述摩擦垫片(13)上表面处于同一平面。
3.根据权利要求2所述的一种基于剪切压电片的大行程压电定位平台，其特征在于：所述信号发生器(7)产生的驱动波形为三角形锯齿波；锯齿波最小值为0v，最大值通过功率放大器(8)应不超过剪切压电陶瓷片(9)正常工作的最大电压。
4.根据权利要求3所述的一种基于剪切压电片的大...
【专利技术属性】
技术研发人员：田海龙，孙奥博，高景文，李建平，周立明，张建海，孙雨治，张霖，何佳龙，邢思远，庞晓阳，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：发明
国别省市：
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