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本技术提供一种晶圆对中装置，该晶圆对中装置包括水平臂、设置在水平臂一端的驱动组件、设置在水平臂另一端的对中组件，对中组件包括承接板、对称设置在承接板两侧的基板、设置在基板上的驱动部件、以及设置在驱动部件上的对中板、和设置在对中板远离承接板一...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。

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