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本发明提供一种光学照明装置，基于来自供给直线偏光的光束的光源所发出的光束，而对于掩膜进行照明。光学照明装置包括：第１部分，位于将光学照明装置的光轴进行横切的面内的第１区域，且第１部分变更来自光源的光的进行方向而射出；第２部分，位于将光学照明...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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