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本发明提供一种光学照明装置，适用在将配置在被照射面的掩膜的图案转写到感光性基板的曝光装置中，所述光学照明装置基于来自光源的照明光而对所述被照射面进行照明。所述光学照明装置包括：旋转三棱镜，配置在所述照明光的光路；以及偏光变换光学元件，设置于...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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