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本技术提供了一种显影装置及显影机，应用于半导体集成电路制作技术领域。包括晶圆承载台和位于晶圆承载台上方的显影箱，显影装置还包括：分别连接在显影箱的底面上的至少一组显影组件和至少两组清洗组件；显影组件和清洗组件均包括依次相连的自转电机、倾斜旋...
该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。

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