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本技术提供了一种MPCVD设备的测温传感器支架，包括固定座、导轨、滑块、安装架、测角仪和传感器，固定座为圆环型，导轨径向固定于固定座的圆环上，滑块设于安装架下端与导轨连接，测角仪竖直安装于安装架内侧，传感器竖直设于测角仪上。该安装架整体结构...
该专利属于化合积电（厦门）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过化合积电（厦门）半导体科技有限公司授权不得商用。

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