温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

公开一种能够对具有改善的垂直角度均匀性的带状离子束进行提取的离子源。提取板及提取光学器件被设计成使得在相邻组件之间存在至少一个不均匀间隙。不均匀间隙可有效地减少所提取带状离子束的角展度不均匀性。具体来说，对于Z方向上的给定间隙，从具有较低等...
该专利属于应用材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。