下载半导体器件阈值电压老化漂移试验的测试装置及测试方法的技术资料

文档序号:41384388

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本发明提供一种测试装置,包括:信号产生模块,用于产生频率及占空比可调的方波信号;隔离驱动模块,用于根据方波信号产生幅值可调的驱动信号,其频率及占空比由方波信号决定;待测模块,用于通过开关控制使待测器件处于不同状态;加温模块,用于对待测器件加...
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