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纳米角分辨光电子能谱实验装置及实验方法制造方法及图纸
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文档序号:41384383
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本发明提供一种纳米角分辨光电子能谱实验装置及实验方法,包括驱动组件、回转支撑轴承、支架架体、样品操纵台、主分析腔、以及能量分析器,所述驱动组件与回转支撑轴承传动连接,所述支架架体与回转支撑轴承固定连接,所述能量分析器、主分析腔均设置在支架架...
该专利属于上海科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海科技大学授权不得商用。
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