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本发明公开了一种抑制气体对流的MPCVD装置，包括壳体、微波天线、基片、微波窗口、第一进气口、第二进气口、出气口、观察窗和测温孔组成；微波窗口放置于壳体与微波天线装置之间，用于在壳体内部形成真空部分，微波经微波窗口进入壳体真空部分形成等离子...
该专利属于苏州鸣芯金刚石科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州鸣芯金刚石科技有限公司授权不得商用。

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