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半导体结构的制备方法、半导体结构及半导体器件技术
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文档序号:41379409
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本申请提供一种半导体结构的制备方法、半导体结构及半导体器件,上述方法包括:提供一衬底,并刻蚀衬底形成有源结构;有源结构包括第一端和第二端,有源结构的第一端相比于有源结构的第二端远离衬底;在衬底的第一区域上形成第一材料层;在第一材料层上,形成...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。
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