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本发明公开了一种成品硅棒内部裂纹缺陷检测系统，在硅棒工件(2)的长度方向错位布置至少一组红外相机和红外光源，每组的红外相机和红外光源是相对而装，分别位于硅棒工件(2)的两侧；红外相机及相对而装的光源沿硅棒工件(2)的长度方向同步移动，对硅棒...
该专利属于大连耐视科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连耐视科技有限公司授权不得商用。

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