下载一种LED外延片的制备方法及LED外延片的技术资料

文档序号:41376349

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本发明提供了一种LED外延片的制备方法及LED外延片,涉及半导体光电子技术领域,该制备方法在第一U型半导体层与第二U型半导体层之间形成了低温U型插入层,并对低温U型插入层进行退火处理,退火处理后的低温U型插入层改变了LED外延片内的位错方向...
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