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本申请提出一种镀膜设备及方法，镀膜设备包括第一本征腔和第一掺杂腔，所述第一本征腔用于在衬底的一侧沉积第一本征层，所述第一掺杂腔位于所述第一本征腔的下游，若干个所述第一掺杂腔分别与一个所述第一本征腔对接，所述第一掺杂腔用于在所述衬底的一侧沉积...
该专利属于广东利元亨智能装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东利元亨智能装备股份有限公司授权不得商用。

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