下载一种单片晶片甩干防飞溅防护罩的技术资料

文档序号:41375708

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本技术公开了一种单片晶片甩干防飞溅防护罩,涉及晶片加工设备技术领域,包括甩干机、保护罩、集液槽和防护罩,所述保护罩为底端封闭的方筒,所述甩干机设置在所述保护罩的内侧底部,所述保护罩的顶端设置有所述集液槽,所述集液槽的外侧连接有所述防护罩。本...
该专利属于保定通美晶体制造有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过保定通美晶体制造有限责任公司授权不得商用。

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