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本发明涉及具有减薄部的PMUT结构、其制造方法及包含其的电子设备。该PMUT结构包括：基底，基底设置有空腔；PMUT，包括第一电极层、压电层和第二电极层，压电层的一侧和另一侧分别设置第一电极层和第二电极层；至少一个空隙部，空隙部沿PMUT厚...
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