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一种自动分离晶圆托盘盒的分离台，包括分离台底座、托盘底托、托盘盖支撑柱、托针、缓冲柱和托盘盒，托盘盒活动安装在托盘底托上，托盘底托的一侧上设有安装槽，托盘底托的顶部开设有安装孔，其中，分离台底座上设有托盘底托，托盘盖支撑柱通过安装槽设置在托...
该专利属于量伙半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过量伙半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

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