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本公开提供了一种光引发产酸固化型聚酰亚胺及其制备方法和光引发产酸固化型光刻胶，所述光引发产酸固化型聚酰亚胺的结构通式如下：本公开实施例提供的光引发产酸固化型聚酰亚胺具有较高的留膜率，将其制备成化学增幅型负性光刻胶，获得的图案具有较高的分辨率...
该专利属于江汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过江汉大学授权不得商用。

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