【技术实现步骤摘要】
本公开涉及光刻显影领域，特别涉及一种光引发产酸固化型聚酰亚胺及其制备方法和光引发产酸固化型光刻胶。
技术介绍
1、聚酰亚胺(polyimide，pi)是一种主链中含有亚胺环的一类芳杂环化合物，它是由二元胺和二元酸酐缩聚得到。由于聚酰亚胺具有良好的耐高温、耐低温、良好的力学性能、绝缘性能和介电性能等，因此，被广泛用于涂料、粘合剂、工程塑料和光刻胶中，是目前不可或缺的重要材料。但普通聚酰亚胺在光刻领域的应用较为繁琐，研究者为了简化工艺、提高良品率，研发出了具有直接光刻功能的光敏聚酰亚胺(photosensitive polyimide，pspi)。
2、光敏聚酰亚胺可以自发实现图案的形成，并最终作为聚酰亚胺膜保留在电子器件上，因此，pspi的优势不仅体现在聚酰亚胺优异的性能上，还体现在简化了图案的形成过程上。
3、目前的光敏聚酰亚胺在交联后的固化过程中，存在留膜率比较低的问题。
4、公开内容
5、为了解决现有技术的问题，本公开实施例提供了一种光引发产酸固化型聚酰亚胺及其制备方法和光引发产酸固化...
【技术保护点】
1.一种光引发产酸固化型聚酰亚胺，其特征在于，所述光引发产酸固化型聚酰亚胺的结构通式如下：
2.根据权利要求1所述的光引发产酸固化型聚酰亚胺，其特征在于，Ar1为如下基团中的至少一种：
3.根据权利要求1所述的光引发产酸固化型聚酰亚胺，其特征在于，所述芳香族二胺的二价有机基团包括：
4.一种如权利要求1所述的光引发产酸固化型聚酰亚胺的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
5.根据权利要求4所述的光引发产酸固化型聚酰亚胺，其特征在于，所述非质子极性溶剂为N-甲基吡咯烷酮和二甲基乙酰胺中的至少一种。
6.根据权利...
【技术特征摘要】
1.一种光引发产酸固化型聚酰亚胺，其特征在于，所述光引发产酸固化型聚酰亚胺的结构通式如下：
2.根据权利要求1所述的光引发产酸固化型聚酰亚胺，其特征在于，ar1为如下基团中的至少一种：
3.根据权利要求1所述的光引发产酸固化型聚酰亚胺，其特征在于，所述芳香族二胺的二价有机基团包括：
4.一种如权利要求1所述的光引发产酸固化型聚酰亚胺的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
5.根据权利要求4所述的光引发产酸固化型聚酰亚胺，其特征在于，所述非质子极性溶剂为n-甲基吡咯烷酮和二甲基乙酰胺中的至少一种。
6.根据权利要求4所述的光引发产酸固化型聚酰亚胺，其特征在于，所述二酐单体为以下二酐结构式中的至少一种：
7.根据权利要求4所述的光引发...
【专利技术属性】
技术研发人员：尤庆亮，程攻，孙凌龙，蒋湛，刘志宏，王德宇，肖标，刘学清，曹一平，肖媛媛，胡璟煜，陆泓毅，何远政，许明聪，
申请(专利权)人：江汉大学，
类型：发明
国别省市：
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