下载采用电调焦透镜的扫频全场光学相干层析成像系统及方法的技术资料

文档序号:41370652

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本发明公开采用电调焦透镜的扫频全场光学相干层析成像系统及方法。本发明系统包括照明模块、参考臂模块、样品臂模块、探测臂模块;照明模块提供扫频光源,然后将光分别送入参考臂模块、样品臂模块;样品臂模块返回的反射光和参考臂模块返回的反射光发生干涉,...
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