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根据本发明的一实施例，可以提供一种基板处理装置以及基板处理装置用涂层膜的检查方法，用于对在配置于处理空间内的构件涂覆的涂层膜的质量进行检查。可以是，所述涂层膜检查方法包括：光照射步骤，朝向所述构件照射光；涂层膜观察步骤，获取当执行所述光照射...
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