下载一种用于砷化镓半导体生长的智能化温度监测方法的技术资料

文档序号:41369384

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本发明涉及数据处理技术领域,具体涉及一种用于砷化镓半导体生长的智能化温度监测方法,包括:获取温度信号曲线及生长速率的拟合曲线;获得温度信号中噪声强度的基本估测值;获得生长末期阶段温度信号中每条分量信号的温度变化周期性;得到每条分量信号中每个...
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