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本申请公开了一种适用于倒装焊的氮化镓基激光器管芯结构及其制作方法。所述氮化镓基激光器管芯结构包括外延结构；该外延结构包括第一、第二欧姆接触电极接触层，第一、第二光学限制层，第一、第二波导层、有源区等；并且该外延结构还包括台阶结构、脊型结构和...
该专利属于广东中科半导体微纳制造技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过广东中科半导体微纳制造技术研究院授权不得商用。

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