下载一种晶圆级LED芯片无接触检测装置及方法的技术资料

文档序号:41363166

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种晶圆级LED芯片无接触检测装置及方法,装置包括:用于放置待检测晶圆级LED芯片的基板,基板上方设置有磁探头,磁探头连接供电模块,供电模块用于向磁探头提供电信号以激励磁探头产生高频交变磁场,高频交变磁场用于使待检测晶圆级LED...
该专利属于闽都创新实验室所有,仅供学习研究参考,未经过闽都创新实验室授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。