下载具有富陷阱区和低电阻率区的集成结构的技术资料

文档序号:41361610

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开涉及具有富陷阱区和低电阻率区的集成结构。本公开涉及半导体结构,更具体地涉及具有富陷阱区和低电阻率区的衬底和制造方法。该结构包括:高电阻率半导体衬底;有源器件,其位于高电阻率半导体衬底之上;以及低电阻率区,其浮置在高电阻率半导体衬底中,...
该专利属于格芯(美国)集成电路科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格芯(美国)集成电路科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。