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本发明公开了一种用于晶圆套刻测量的可变焦显微成像装置，包括白光光源、用于控制白光光源开关的光源控制器、用于校准白光光源发射光束为平行光的光源准直组件、用于调整光束方向的反射镜、可调节的滤光片系统和半透半反镜，所述半透半反镜的反射方向上依次设...
该专利属于无锡埃瑞微半导体设备有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡埃瑞微半导体设备有限责任公司授权不得商用。

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