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本申请提供了一种加热模块和加工设备。加热模块包括两个加热单元,每一加热单元均包括三个分区加热组件和至少三个电极组件,每个分区加热组件用于在通电时产生热量;其中,六个分区加热组件间隔设置且呈环形排列,每个分区加热组件包括两个发热柱组,每一发热...该专利属于拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司授权不得商用。
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