加热模块和加工设备制造技术

本申请提供了一种加热模块和加工设备。加热模块包括两个加热单元，每一加热单元均包括三个分区加热组件和至少三个电极组件，每个分区加热组件用于在通电时产生热量；其中，六个分区加热组件间隔设置且呈环形排列，每个分区加热组件包括两个发热柱组，每一发热柱组包括至少两个发热柱；六个电极组件沿着分区加热组件的排列方向依次间隔排布，每个电极组件的第一端连接于一个发热柱组中的两个发热柱之间，每个电极组件的第二端连接于相邻的另一个发热柱组的两个发热柱之间，使得六个电极组件和六个分区加热组件共同构成环状结构。本申请加热模块提供的温区可达六个，控温精度高，有利于加工设备的温度均匀性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体材料加工，尤其涉及一种加热模块和加工设备。

技术介绍

1、烧结炉是一种常用的加工设备，能够使半导体材料等通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构。烧结炉在烧结半导体材料时，需要对炉内的烧结温度进行精确控制，以确保半导体材料的成品质量。

2、现有的烧结炉常采用单相或两相电源调控的电加热元件。通电时，电加热元件能够产热，并在烧结炉内形成两个温区或三个温区。然而，由于温区数量较少，控温精度较低，因此容易导致炉内温度不均匀分布，进而影响到成品质量。

技术实现思路

1、为解决现有技术的不足，本申请提供了一种加热模块和加工设备。

2、本申请第一方面提出一种加热模块，包括两个加热单元，每一加热单元均包括三个分区加热组件和至少三个电极组件，三个电极组件与三相电源中的三相一一对应连接，每个分区加热组件用于在通电时产生热量；其中，六个分区加热组件间隔设置且呈环形排列，每个分区加热组件包括两个发热柱组，每一发热柱组包括至少两个发热柱；六个电极组件沿着分区加热组件的排列方向依次间隔排布，每本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种加热模块，其特征在于，包括两个加热单元，每一所述加热单元均包括三个分区加热组件和至少三个电极组件，三个所述电极组件与三相电源中的三相一一对应连接，每个所述分区加热组件用于在通电时产生热量；其中，

2.如权利要求1所述的加热模块，其特征在于，每一所述加热单元均包括三个电极组件，

3.如权利要求2所述的加热模块，其特征在于，所述电极组件和所述导电连接件均为石墨材质，所述分区加热组件为石墨材质或电阻率大于石墨的导电材质。

4.如权利要求1所述的加热模块，其特征在于，每一所述加热单元均包括四个所述电极组件，

5.如权利要求4所述的加热模块，...

【技术特征摘要】

1.一种加热模块，其特征在于，包括两个加热单元，每一所述加热单元均包括三个分区加热组件和至少三个电极组件，三个所述电极组件与三相电源中的三相一一对应连接，每个所述分区加热组件用于在通电时产生热量；其中，

2.如权利要求1所述的加热模块，其特征在于，每一所述加热单元均包括三个电极组件，

3.如权利要求2所述的加热模块，其特征在于，所述电极组件和所述导电连接件均为石墨材质，所述分区加热组件为石墨材质或电阻率大于石墨的导电材质。

4.如权利要求1所述的加热模块，其特征在于，每一所述加热单元均包括四个所述电极组件，

5.如权利要求4所述的加热模块，其特征在于，每一所述加热单元的三个所述分区加热组件之间通过绝缘连接件连接。

6.如权利要求4所述的加热模块，其特征在于，所述分区加热组件、所述电极组件和所述导电连接件均为石墨材质。

7.如权利要求2至6中任一项所述的加热模块，其特征在于，两个所述加热单元的首端通过绝缘连接件连接，两个所述加热单元的末端通过另外的绝缘连接件连接，使得两个所述加热单元为环形连接。

8.如权利要求1所述的加热模块，其特征在于，六个所述分区加热组件沿着所述环状结构的周向等分分布。

9.如权利要求1所述的加热模块，其特征在于，每个...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙占勇，韩雪岭，陈梓展，林佳继，
申请(专利权)人：拉普拉斯广州半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：